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产品参数：
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设备型号 |
LDD-28001H06-DQ |
LDD-28001H08-DQ |
LDD-28001H10-DQ |
LDD-28001H12-DQ |
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解胶晶圆 |
6 英寸及以下 |
8 英寸及以下 |
10 英寸及以下 |
12 英寸及以下 |
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设备功率 |
4000W |
4000W |
5000W |
5000W |
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整机尺寸 |
800*700*1100mm |
800*700*1100mm |
960*850*1100mm |
960*850*1100mm |
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整机重量 |
160KG |
160KG |
180KG |
180KG |
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输入电压 |
AC380V 50HZ |
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氮气保护 |
均带有无负压氮气保护 |
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智能控制 |
能量及光强实时显示及设定，含氧量和解胶时间可设定 |
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紫外线波段 |
全波段 240~460nm |
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扫描式解胶 |
均带有扫描式解胶 |
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晶圆载具 |
可定制 |
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选组配件：
UVLED 光源：254nm、280nm、310nm、365nm、385nm、395nm、405nm
UV 汞灯灯管：国产灯管、日本 ORC 紫外线灯、英国 AC 紫外线灯、英国 Primac 紫外线灯
生产控制：手动控制、PLC 程序控制
MES 联机：离线式、在线式可选
控制方式：手动控制 / PLC 触摸屏控制
更多功能：能量实时监控