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产品参数：
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设备型号 |
LDLF-35A0606JG |
LDLF-35A0808JG |
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解胶晶圆 |
6 英寸及以下 |
8 英寸及以下 |
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设备功率 |
1000W |
1300W |
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整机尺寸 |
850*450*415mm |
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整机重量 |
50KG |
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输入电压 |
AC220V 50HZ |
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LDE 波长 |
254nm/280nm/310nm/365nm/385nm/395nm/405nm 可选 |
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晶圆载具 |
可定制 |
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控制方式 |
PLC 触摸屏控制 |
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解胶方式 |
固定照射 |
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解胶时间 |
可根据实际需要设定 |
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选组配件：
UVLED 光源：254nm、280nm、310nm、365nm、385nm、395nm、405nm